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3D化等同于两代器件等比紧缩
北卡罗莱纳州立大学(North Carolina State University)教授Paul Franzon表示,从传统的CMOS等比缩放获得性能提升看起来已经过时了,迫切需要3D互连来填补产业空隙。
“3D IC提供了两代的等比缩放,”Franzon在德州奥斯汀(Austin, Texas)举行的IEEE器件封装和制造技术(CPMT)会议上这样表示。他引用了MIT微系统技术实验室的一份研究,研究表明,从CMOS 32nm世代往前,晶体管的固有性能将不能再得到提升,除非能够极大地降低寄生电容。
IBM系统和技术集团的技术策略经理Mike Shapiro说,IBM正致力于开发一种非常可靠的TSV(穿透硅通孔)工艺。IBM经理表示,TSV的成品率必须与片上互连的成品率相当,才能使其获得经济效益。
Shapiro说,计划于纽约州北部IBM赞助的纳米和封装技术中心(IBM-backed Nanoscale & Packaging Technology Center)将在3D开发中扮演重要角色。尽管2009年面临低迷的经济环境,但IBM业已同意投资15亿美元,纽约州再投入5
000万美元。Shapiro表示,该研发中心的一个关键项目是开发用于下一代产品的3D技术,使得未来的产品能从3D中获利。
Cadence数字IC技术专家Vassilios Gerousis说,Cadence正与领先的商业化客户进行3D软件的开发。Cadence已经开发了一套3D基本工具和设计方法,另外,Cadence和领先的3D客户在2008年成功流片(taped out)了两个45nm工艺的3D堆叠芯片。